北里大学OPAC

ホリ, マサル

堀, 勝(1958-)

著者の属性	個人
一般注記	工学博士:半導体プロセス工学、薄膜、表界面物性、量子材料工学 SRC:ラジカル注入法を用いたプラズマエッチングとラジカル反応機構に関する研究 / 堀勝[著]([出版者不明], 1997.3)
Dates of Birth and Death	1958.1
コード類	典拠ID=AU00062930 NCID=DA11289377


1	プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳第2版. - 東京 : 丸善 , 2010.1

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