ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 著者標目 | Stuart, R. V. 著 毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ> |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 予約 | 利用注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 理学 単行本 |
|
534.93||St9 | 11004803 |
|
|
1986 |
|
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