ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
データ種別 |
図書 |
出版者 |
東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 |
1987.11 |
著者標目 |
日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ>
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大きさ |
440p ; 22cm |
件 名 |
BSH:半導体-用語 |
分 類 |
NDC8:549.8 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
書誌ID |
BB00162253 |
本文言語 |
日本語 |
巻冊次 |
ISBN:4526022756 ; PRICE:4000円 |
NCID |
BN01615028
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