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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著

データ種別 図書
出版者 東京 : 内田老鶴圃
出版年 2003.7
著者標目 市川, 幸美 <イチカワ, ユキミ>
佐々木, 敏明 <ササキ, トシアキ>
堤井, 信力 <テイイ, シンリキ>

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配架場所 巻　次 請求記号 登録番号 状　態 コメント ISBN 刷　年 予約 利用注記
教養 単行本(BF)
549.8||P97 71097824



書誌詳細を非表示

大きさ viii, 289p ; 22cm
件　名 BSH:半導体
BSH:プラズマ
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID BB10056494
本文言語 日本語
巻冊次 ISBN:4753650480 ; PRICE:4000円
NCID BA6324911X

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