プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 第2版 |
| 出版情報 | 東京 : 丸善 , 2010.1 |
| 著者標目 | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル> |