プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
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大きさ |
xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
別書名 |
原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理 |
件 名 |
BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
一般注記 |
監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
分 類 |
NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
書誌ID |
BB10090321 |
本文言語 |
日本語 |
巻冊次 |
ISBN:9784621082232 ; PRICE:18000円+税 |
NCID |
BB00985264
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