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プラズマ プロセス ノ ゲンリ

プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳

データ種別 図書
版 第2版
出版者 東京 : 丸善
出版年 2010.1
著者標目 Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ>
堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル>

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配架場所 巻　次 請求記号 登録番号 状　態 コメント ISBN 刷　年 予約 利用注記
理学 単行本
427.6||L62 11036157
9784621082232 2010

書誌詳細を非表示

大きさ xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
別書名 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
件　名 BSH:プラズマ物理学
NDLSH:薄膜
一般注記 監修: 堀勝
参考文献: p[591]-604
分　類 NDC8:427.6
NDC9:427.6
書誌ID BB10090321
本文言語 日本語
巻冊次 ISBN:9784621082232 ; PRICE:18000円+税
NCID BB00985264

類似資料

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